Hprobe 巩固领导地位，推出强力新型磁性测试仪表以扩展 TMR 传感器产品组合

Hprobe 巩固领导地位，推出全新高性能磁性测试仪器以扩展 TMR 传感器产品组合

2025年12月5日 | 新闻稿

旨在满足汽车电气化、工业自动化、移动设备及机器人领域下一代 TMR 传感器的测试需求

法国格勒诺布尔 – 2025年10月28日

Hprobe 是一家隶属于迈科尼克 (Mycronic) 集团的公司，作为半导体行业磁性自动测试设备 (ATE) 的全球领军者，今日宣布推出专用于最新一代 TMR（隧道磁阻）传感器在 3D 磁场条件下进行晶圆级测试的新型磁性测试仪器。H3DM-XLL 在磁场强度和控制方面树立了新标杆，为先进 TMR 传感器的研发与生产提供了前所未有的性能。由汽车电气化、工业自动化、移动设备和机器人技术驱动的 TMR 传感器需求增长带来了全新的测试挑战，而该系统凭借其独特优势能够完美应对。Hprobe 目前已收到该项颠覆性测试能力的的首批客户订单。

满足先进 TMR 传感器的测试需求

磁传感器集成电路 (IC) 已成为现代电子产品中不可或缺的组成部分，能够实现对位置、速度、电流和方向的精确检测。其中，TMR 传感器以其高灵敏度、低功耗和无缝的 CMOS 兼容性脱颖而出。在过去的十年中，它们已从实验室原型步入大规模应用。其日益增长的复杂性要求在晶圆级对 3D 磁场进行精确的方向、幅度和均匀性控制，这为传感器制造商和测试设备供应商带来了技术与产能上的双重挑战。

随着 TMR 传感器设计向高性能和更高灵敏度演进，测试过程需要在所有空间方向上达到磁饱和，而现有的晶圆级系统此前一直无法提供这一能力。H3DM-XLL 通过结合极高磁场能力与精确且快速的 3D 矢量控制解决了这一需求，确保在当今先进 TMR 器件的整个工作范围内实现可靠且可重复的特性分析。

行业的全新突破

Hprobe 创始人兼首席技术官 (CTO) Siamak Salimy 博士表示：“凭借这款新产品，Hprobe 在磁传感器晶圆级测试的磁场能力方面取得了重大突破。这一开发成果是与 TMR 传感器制造商密切合作的产物。我们解决了多项技术难题，专门针对最先进的 TMR 传感器技术量身定制了这款新型 3D 磁场产生器。”

无可比拟的磁场性能

作为 Hprobe 3D 磁场产生器系列的最新成员，H3DM-XLL 能够在空间任意方向产生超过 200 毫特斯拉 (mT) 的矢量磁场，在面内 (In-plane) 超过 500 mT，面外 (Out-of-plane) 超过 250 mT，并覆盖大面积均匀区域。这些能力使其成为目前市场上唯一能够为磁传感器的晶圆级测试与特性分析提供如此高场强和完整三轴矢量控制的商用解决方案。

其他核心特性包括：

• 高产能测试： 磁场扫描速率高达每秒 2 特斯拉 (T/s)。
• 精确校准： 具备极高的场强校准精度和重复性，确保精确的晶圆级特性分析。
• 高兼容性： 兼容标准探针台和 ATE 系统，易于在现有测试线上部署。
• 多尺寸支持： 支持 200 mm 和 300 mm 晶圆，适用于研发与生产环境。
• 无缝集成： 可与晶圆探针台直接对接，并通过专用控制指令和触发信号与外部 ATE 实现无缝通信，确保同步运行。该系统兼容标准及定制 ATE，能够毫不费力地集成到现有测试设置中。

延伸 Hprobe 的领导地位

继 H3DM 和 H3DM-XL 型号在全球领先半导体制造商的研发与生产中获得成功后，H3DM-XLL 进一步扩展了 Hprobe 的磁性测试头产品组合。它再次巩固了 Hprobe 在 MRAM 和磁性器件晶圆级特性分析测试仪器领域的领导地位。

关于 Hprobe

Hprobe 成立于 2017 年 3 月，总部位于法国格勒诺布尔，是迈科尼克 (Mycronic) 全球技术事业部旗下的业务单元。Hprobe 作为世界领先的自旋电子学研究实验室之一——SPINTEC 的拆分机构，基于多年的磁性测试前沿研究，为半导体行业提供尖端解决方案，如今已被公认为全球半导体磁性测试设备的领军企业。公司设计、制造并销售针对 MRAM 及磁传感器等磁性器件的自动化晶圆级测试解决方案，服务于全球主要的半导体代工厂、IDM 和研究机构。其专利的 3D 磁场产生技术可在完全受控的磁环境下实现精确且可重复的测试，涵盖从研发到高量产的所有磁性测试需求。随着系统在消费电子、工业、汽车和通信市场的广泛部署，Hprobe 持续为磁性器件测试的精度、产能和综合性能确立行业标准。