产品
Hprobe的磁场发生器技术专为应对磁性集成电路工业测试中的挑战而设计。该技术的开发目标是生成高强度磁场，并具备极快的振幅和角度扫描速率。这些磁场发生器被集成到专为磁性器件晶圆级高吞吐量测试所设计的测试设备中。
Hprobe的3D磁场发生器拥有专利技术，符合大批量生产中对电学晶圆级探测的要求。这些独特设计的发生器采用电源供电和空气冷却方式运行，因此无需复杂的液体冷却系统。
- 兼容100–300毫米自动化晶圆探针台
- 集成磁场发生器的测试头直接安装在探针台上
- 支持主流探针台品牌：
东京电子（TEL）
东京精密（ACCRETECH）
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產品演示
磁性測試頭
測試頭整合了Hprobe專利3D磁場發生器、空氣冷卻系統、配備TTL驅動器的自動線圈佈線系統、3D磁場校正單元以及溫度監測與安全防護裝置。
3D GEN - 研发 - 磁性技术开发
- 多达4个高精度定位探针（支持单器件/多器件探测）
- 手动对准3D磁场发生器与探针
H3DM - 生产用 - 晶圆验收测试 (WAT)
- 兼容探针卡与半自动换卡器 (SACC)
- 3D发生器、探针与场校准传感器的自动对准
- 配备嵌入式场校准单元及3D磁场校准传感器
H3DM-XL & XLL - 生产用 - 晶圆验收测试 (WAT)、晶圆分类与最终测试
- 涵盖H3DM全部功能，并具备以下特性：
- 大磁场均匀性支持并行测试
- 专为芯片（SOC、ASIC）功能测试设计（如 > 64 通道）
- 任意方向磁场强度 >200 mT，面内磁场超过 500 mT，垂直方向磁场达 250 mT
電子櫃
Hprobe设备机柜为每一款测试头提供电源、安全管理系统以及测试集成磁性器件所需的全套仪器仪表。
磁场生成
线性与双极性电源及任意波形发生器
采集系统
用于I-V特性分析的精密测量单元 (SMU) 及用于电阻/电压/电流测量的高精度数字仪表 (DMM)
射频仪器
专有射频模块及用于时间分辨和脉冲测量的高速射频信号采集设备
射频仪器
RF BOX – 用于STT MRAM的窄脉冲生成
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- 2个脉冲/直流通道
- 射频任意波形发生器 12 G采样/秒
- 5 GHz带宽
- 脉冲宽度 200皮秒 至 200纳秒
- 50欧姆负载上脉冲幅度 +2/-2 V
RF SPIN – 先进MRAM脉冲测试
- 具备射频盒所有功能，并增加以下特性：
- 超快速误码率测试 (2×10⁶ 次写入 & 2×10⁶ 次读取 < 5 秒)
- 独立双通道，同步精度 < 100皮秒
- 用于STT和SOT器件的时间分辨测量
- 脉冲通道自动校准
- 准静态场测试与脉冲测试
MC16X – 16通道脉冲发生器
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- 具备RF SPIN所有功能，并增加以下特性：
- 超紧凑多通道并行测试
- 50欧姆负载上脉冲幅度 +5/-5 V
RF MUX – 精密多通道切换
- 可为多端子器件分配不同测试线路
（1个测试通道输出可切换至12个输出端中的任意1个）
- 提供 2× [1:12] 或 4× [1:6] 配置可选
- 带宽：5 GHz
Hmap® 驱动软件
单一软件，适配所有设备配置
专业化测试环境：
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专用测试模块，完全可配置
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测试程序的模块化编排
测试流程自动化:
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测试程序定义
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晶圆/批次测试
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工厂自动化（支持SECS/GEM、TCP/IP、FTP协议）
按需磁场生成：
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任意3D磁场模型
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用户友好的3D磁场模型编辑器
开放环境：
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兼容其他测试设备
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支持通过其他编程语言编写测试协议脚本
IBEX
平台
LINX
平台
专为高性能
而设计
快速
极高的磁场扫描速率，每秒高达10,000步采样，从而实现高吞吐量、满足大规模生产的测试时间要求。
灵活
具备空间轴独立可控的3D磁场，可实现垂直方向与面内磁场的任意组合。
强大
超高强度单向磁场，配合极快的扫描速率，扫场速率可达2 T/S